请问在微纳加工领域的PDMS或者PMMA的用途有什么呢？ - 微米和纳米 - 学术交流

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1楼 2013-10-18 14:24:48

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fuzhangwu

铁虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 15.8
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虫号: 1687927

★
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PMMA是一种正性光刻胶，曝光的地方可以被显影液洗掉，就可以得到你所设计的微结构。将PDMS浇注到你所曝光的PMMA上面，就可以得到阴性微结构，固化后的PDMS就成了一个具有微结构图案的印章，蘸上墨水就可以印刷了。

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4楼2013-11-07 23:05:11

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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匿名

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2楼2013-10-18 14:25:20

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siqxing

金虫 (小有名气)

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帖子: 85
在线: 457.3小时
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没错，PMMA是一种电子束光刻胶，其分子链经电子束曝光后会断裂，显影并清除残胶后可以得到需要的图形。其作用是保护晶圆使只有通过显影曝光后的部分可以加工，类似于照相中的底片。PDMS用于图形转移基本上就是用于微接触印刷，首先还是要经电子束曝光得到高分辨率的PMMA图形，然后将PDMS在图形上形成薄膜，固化后二者可以分开，此后PDMS的作用就类似一个印章，蘸上“墨水”将其表面的图形转移到基底材料表面去。

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3楼2013-11-04 16:30:06

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