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1楼 2013-10-18 14:24:48

已阅同方向广播申请MN-EPI 回复此楼编辑删除查看我的主页

siqxing

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1101.3
帖子: 85
在线: 457.3小时
虫号: 2109890

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

没错，PMMA是一种电子束光刻胶，其分子链经电子束曝光后会断裂，显影并清除残胶后可以得到需要的图形。其作用是保护晶圆使只有通过显影曝光后的部分可以加工，类似于照相中的底片。PDMS用于图形转移基本上就是用于微接触印刷，首先还是要经电子束曝光得到高分辨率的PMMA图形，然后将PDMS在图形上形成薄膜，固化后二者可以分开，此后PDMS的作用就类似一个印章，蘸上“墨水”将其表面的图形转移到基底材料表面去。