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2楼2013-10-18 14:25:20
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siqxing

金虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没错,PMMA是一种电子束光刻胶,其分子链经电子束曝光后会断裂,显影并清除残胶后可以得到需要的图形。其作用是保护晶圆使只有通过显影曝光后的部分可以加工,类似于照相中的底片。PDMS用于图形转移基本上就是用于微接触印刷,首先还是要经电子束曝光得到高分辨率的PMMA图形,然后将PDMS在图形上形成薄膜,固化后二者可以分开,此后PDMS的作用就类似一个印章,蘸上“墨水”将其表面的图形转移到基底材料表面去。
3楼2013-11-04 16:30:06
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fuzhangwu

铁虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PMMA是一种正性光刻胶,曝光的地方可以被显影液洗掉,就可以得到你所设计的微结构。将PDMS浇注到你所曝光的PMMA上面,就可以得到阴性微结构,固化后的PDMS就成了一个具有微结构图案的印章,蘸上墨水就可以印刷了。
4楼2013-11-07 23:05:11
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PDMS做软光刻,PMMA做电子束光刻。我更喜欢用PMMA做微注塑
5楼2013-11-08 08:24:38
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