应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请问在微纳加工领域的PDMS或者PMMA的用途有什么呢？
51/1返回列表
查看: 1996  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

匿名


本帖仅楼主可见

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-10-18 14:24:48
已阅   同方向广播   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   删除   查看我的主页

匿名


本帖仅楼主可见
赞一下
2楼2013-10-18 14:25:20
已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

siqxing

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没错，PMMA是一种电子束光刻胶，其分子链经电子束曝光后会断裂，显影并清除残胶后可以得到需要的图形。其作用是保护晶圆使只有通过显影曝光后的部分可以加工，类似于照相中的底片。PDMS用于图形转移基本上就是用于微接触印刷，首先还是要经电子束曝光得到高分辨率的PMMA图形，然后将PDMS在图形上形成薄膜，固化后二者可以分开，此后PDMS的作用就类似一个印章，蘸上“墨水”将其表面的图形转移到基底材料表面去。
赞一下 回复此楼
3楼2013-11-04 16:30:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuzhangwu

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PMMA是一种正性光刻胶，曝光的地方可以被显影液洗掉，就可以得到你所设计的微结构。将PDMS浇注到你所曝光的PMMA上面，就可以得到阴性微结构，固化后的PDMS就成了一个具有微结构图案的印章，蘸上墨水就可以印刷了。
赞一下 回复此楼
4楼2013-11-07 23:05:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PDMS做软光刻，PMMA做电子束光刻。我更喜欢用PMMA做微注塑
赞一下 回复此楼
5楼2013-11-08 08:24:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 nejx 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭