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spring-quan

铜虫 (小有名气)

[求助] 低价氧化物O1s峰结合能会变高吗?

比如二氧化钛,在测XPS刻蚀时用氩离子轰击,四价的钛会被还原形成三价或者二价的钛,那么这时对应于O1s峰会跟着有相应的变化吗?(会在高的结合能处出现峰)
也就是当测表面时O1s有俩峰531eVHE 530eV,放刻蚀后O1s除了还有这俩峰之外出现了第三个峰(在高结合能处532eV),想知道这是由于钛的变价导致形成低价氧化物从而O1s峰会有如此现象吗?有相关文献支持吗?

[ Last edited by spring-quan on 2013-10-15 at 21:54 ]
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
spring-quan: 金币+2, 虽然没有解答,但是还是很感谢! 2013-10-17 21:43:45
非常非常难说,我也遇到过,解释不了,后来选择不刻蚀了,样品当天做好马上去测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-10-17 11:24:10
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spring-quan

铜虫 (小有名气)

有人能回答我吗?
2楼2013-10-17 09:31:16
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