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低价氧化物O1s峰结合能会变高吗?
比如二氧化钛,在测XPS刻蚀时用氩离子轰击,四价的钛会被还原形成三价或者二价的钛,那么这时对应于O1s峰会跟着有相应的变化吗?(会在高的结合能处出现峰)
也就是当测表面时O1s有俩峰531eVHE 530eV,放刻蚀后O1s除了还有这俩峰之外出现了第三个峰(在高结合能处532eV),想知道这是由于钛的变价导致形成低价氧化物从而O1s峰会有如此现象吗?有相关文献支持吗?
[ Last edited by spring-quan on 2013-10-15 at 21:54 ] |
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