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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 低价氧化物O1s峰结合能会变高吗？
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spring-quan

铜虫 (小有名气)

[求助] 低价氧化物O1s峰结合能会变高吗？

比如二氧化钛，在测XPS刻蚀时用氩离子轰击，四价的钛会被还原形成三价或者二价的钛，那么这时对应于O1s峰会跟着有相应的变化吗？（会在高的结合能处出现峰）
也就是当测表面时O1s有俩峰531eVHE 530eV,放刻蚀后O1s除了还有这俩峰之外出现了第三个峰（在高结合能处532eV）,想知道这是由于钛的变价导致形成低价氧化物从而O1s峰会有如此现象吗？有相关文献支持吗？

[ Last edited by spring-quan on 2013-10-15 at 21:54 ]
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1楼 2013-10-15 21:48:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
spring-quan: 金币+2, 虽然没有解答，但是还是很感谢！ 2013-10-17 21:43:45
非常非常难说，我也遇到过，解释不了，后来选择不刻蚀了，样品当天做好马上去测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2013-10-17 11:24:10
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spring-quan

铜虫 (小有名气)
有人能回答我吗？
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2楼2013-10-17 09:31:16
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