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低价氧化物O1s峰结合能会变高吗？
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比如二氧化钛，在测XPS刻蚀时用氩离子轰击，四价的钛会被还原形成三价或者二价的钛，那么这时对应于O1s峰会跟着有相应的变化吗？（会在高的结合能处出现峰） 也就是当测表面时O1s有俩峰531eVHE 530eV,放刻蚀后O1s除了还有这俩峰之外出现了第三个峰（在高结合能处532eV）,想知道这是由于钛的变价导致形成低价氧化物从而O1s峰会有如此现象吗？有相关文献支持吗？ [ Last edited by spring-quan on 2013-10-15 at 21:54 ] |
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2楼2013-10-17 09:31:16
gxytju2008
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