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小钱

新虫 (小有名气)

[求助] CVD法硅片上能生长石墨烯吗

本人刚做石墨烯的制备,因为想找一种与石墨烯热膨胀系数相当的衬底,请问硅片上能长石墨烯吗?
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小钱

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by jiudushishu at 2013-10-14 20:23:49
Si上生长石墨烯前几年是石墨烯材料生长的一个小热点,理论和实验结果都证明这个方法可行。
但是,整体来说,Si上石墨烯的缺陷很多,这是由于碳源气体中的C原子先和Si原子结合成SiC缓冲层,然后再生长石墨烯,这样石 ...

学习了,非常感谢
5楼2013-10-15 10:02:49
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
小钱: 金币+1, 谢谢 2013-10-15 10:03:21
衬底可以使用硅片,也可以用SiC,BN等等。
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员,年薪20万起,请站内联系,谢谢。
2楼2013-10-12 18:35:29
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张三的歌

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
小钱: 金币+1, 谢谢 2013-10-15 10:03:13
可以长的,我们实验室就是用PECVD的方法在硅片上生长的石墨烯
我愿化生石桥,受五百年风吹,五百年日晒,五百年雨淋,只愿你从桥上走过
3楼2013-10-12 22:26:19
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jiudushishu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
小钱: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-10-15 10:02:58
Si上生长石墨烯前几年是石墨烯材料生长的一个小热点,理论和实验结果都证明这个方法可行。
但是,整体来说,Si上石墨烯的缺陷很多,这是由于碳源气体中的C原子先和Si原子结合成SiC缓冲层,然后再生长石墨烯,这样石墨烯的形貌就由SiC缓冲层决定,而Si上生长SiC是国际难题,都没有更好的办法,表面比较差,导致石墨烯不可避免的带来很多缺陷。我曾经生长了10多炉Si上石墨烯,最好的2D峰半宽是90cm-1,文献中最好是60cm-1多,都不如SiC升华和CVD外延,所以从去年至今国际上都不怎么做了,这个方法已经过时了。
中科院化学所提出在Si上先外延Si3N4,再用CVD法生长石墨烯,这个方法可行,2D峰半宽最小达到65cm-1

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酒读诗书
4楼2013-10-14 20:23:49
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