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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD做完实验。为什么在硅片衬底上什么都没有。什么原因导致的呢
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zswybs

木虫 (正式写手)

[求助] CVD做完实验。为什么在硅片衬底上什么都没有。什么原因导致的呢

CVD做完实验。为什么在硅片衬底上什么都没有。什么原因导致的呢，求大神指点
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相信自己
1楼 2013-07-11 09:26:38
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guoluan

木虫 (小有名气)

蝈蝈

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zswybs: 金币+1 2013-07-11 11:07:24
可能用肉眼看不到的。
用电镜或或者XRD表征一下。
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2楼2013-07-11 11:01:02
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zswybs

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by guoluan at 2013-07-11 11:01:02
可能用肉眼看不到的。
用电镜或或者XRD表征一下。

不是，正常用肉眼应该可以看见有白白的一薄层物质，但是这个什么都看不到
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相信自己
3楼2013-07-11 11:08:23
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guoluan

木虫 (小有名气)

蝈蝈

【答案】应助回帖

★
zswybs: 金币+1 2013-07-11 15:07:30
引用回帖:
3楼: Originally posted by zswybs at 2013-07-11 11:08:23
不是，正常用肉眼应该可以看见有白白的一薄层物质，但是这个什么都看不到...

这个你得好好检查一下的实验条件，是不是哪里泄露了，还是位置，温度都没有控制好。
我最近的实验也出现了这种现象，后来才知道我增加了一个强制排气风扇。
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4楼2013-07-11 14:51:34
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zswybs

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by guoluan at 2013-07-11 14:51:34
这个你得好好检查一下的实验条件，是不是哪里泄露了，还是位置，温度都没有控制好。
我最近的实验也出现了这种现象，后来才知道我增加了一个强制排气风扇。...

强制排气风扇目的是什么啊？？感觉也没哪里错了？对了，你的衬底是怎么洗涤的啊。能不能是不干净才长不上去的啊
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相信自己
5楼2013-07-11 15:08:37
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guoluan

木虫 (小有名气)

蝈蝈

【答案】应助回帖

★
zswybs: 金币+1 2013-07-12 11:23:04
引用回帖:
5楼: Originally posted by zswybs at 2013-07-11 15:08:37
强制排气风扇目的是什么啊？？感觉也没哪里错了？对了，你的衬底是怎么洗涤的啊。能不能是不干净才长不上去的啊...

当时做实验过程中，怀疑可能是气体不流畅，所以我改造了一下排气管，增加一个风扇，强制排气。
清洗硅基底用的是丙酮和乙醇各超生15分钟

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6楼2013-07-11 17:53:29
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