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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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moonqzq

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束刻蚀 pmma出现裂纹 已有1人参与

请教大家一个问题,我做电子束刻蚀时,在载玻片上旋涂一层pmma,然后喷金大概2nm左右,曝光显影后发现pmma表面有很多花纹般的裂痕,以前用硅片做基底时从没出现过这种情况,请问谁知道是怎么回事么?万分感谢!
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馋蛙的猫

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

没有过渡层金容易剥落,显影时,表面部分金剥落,表面光反射不均与,形成你说的花纹
2楼2014-02-27 15:51:21
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moonqzq

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 馋蛙的猫 at 2014-02-27 15:51:21
没有过渡层金容易剥落,显影时,表面部分金剥落,表面光反射不均与,形成你说的花纹

多谢解答,问题已解决。
3楼2014-03-05 10:49:17
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