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moonqzq金虫 (小有名气)
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电子束刻蚀 pmma出现裂纹 已有1人参与
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| 请教大家一个问题，我做电子束刻蚀时，在载玻片上旋涂一层pmma，然后喷金大概2nm左右，曝光显影后发现pmma表面有很多花纹般的裂痕，以前用硅片做基底时从没出现过这种情况，请问谁知道是怎么回事么？万分感谢！ |
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2楼2014-02-27 15:51:21
moonqzq
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 性别: GG
- 专业: 光子与光电子器件
3楼2014-03-05 10:49:17
20