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moonqzq

金虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

[求助] 电子束刻蚀 pmma出现裂纹已有1人参与

请教大家一个问题，我做电子束刻蚀时，在载玻片上旋涂一层pmma，然后喷金大概2nm左右，曝光显影后发现pmma表面有很多花纹般的裂痕，以前用硅片做基底时从没出现过这种情况，请问谁知道是怎么回事么？万分感谢！

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1楼 2013-10-09 09:58:24

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馋蛙的猫

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

没有过渡层金容易剥落，显影时，表面部分金剥落，表面光反射不均与，形成你说的花纹

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2楼2014-02-27 15:51:21

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moonqzq

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 馋蛙的猫 at 2014-02-27 15:51:21
没有过渡层金容易剥落，显影时，表面部分金剥落，表面光反射不均与，形成你说的花纹

多谢解答，问题已解决。

3楼2014-03-05 10:49:17

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