24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 716  |  回复: 7
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

[交流] 请教关于磁控溅射的相关问题

本人刚开始使用磁控溅射,想了解一下,我如果想做铜铟硒薄膜,是用单靶好,还是多靶好,请各位大虾指点!

还有就是硒化炉的相关参数有哪些,现在想买一台,请各位多提供一点信息!
谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley

如果是蒸发镀膜的话,合金材料做蒸发源就会出现合金薄膜偏析,膜组成不均匀的情况,溅射镀膜不会有这种情况,而且薄膜的成分基本与合金靶一致,

多靶溅射时可以通过调整靶的输出功率改变膜的金属组分比,而且可以通过加入反应性气体得到化合物膜,

比如制备TixAlyN薄膜
5楼2007-11-29 21:36:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

wesley


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供
溅射所得薄膜与合金靶的成分基本一致,如果需要调整薄膜组成比例,最好还是用多靶
2楼2007-11-28 14:59:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

谢谢,如果用合金靶的话,因为各个成分的温度性质不一样,比如熔点什么的,这应该会对薄膜质量产生影响吧
3楼2007-11-29 20:15:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

多靶溅射薄膜的成分主要由靶面积、溅射所用功率等工艺条件、靶材料溅射产额及其在基片上的附着率来决定,与各组元熔点蒸气压没什么关系
4楼2007-11-29 20:51:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 290调剂生物0860 +28 哇哈哈,。 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 01:16 by 幸免 ..
[考研] 考研求调剂 +5 子木呐 2026-04-12 5/250 2026-04-12 22:15 by paopaotu326
[考研] 085600材料与化工,求调剂 +12 won_qii 2026-04-07 12/600 2026-04-12 17:02 by lhj2009
[考研] 一志愿2110,化学学硕310分,本科重点双非求调剂 +19 努力奋斗112 2026-04-08 19/950 2026-04-12 17:01 by lhj2009
[考研] 0831生医工第一轮调剂失败求助 +12 小熊睿睿_s 2026-04-11 16/800 2026-04-12 16:28 by 钰璞
[考研] 303求调剂 +14 SereinQ 2026-04-10 15/750 2026-04-11 20:43 by 蓝云思雨
[考研] 求调剂,一志愿大连理工大学354分 +5 雨声余生 2026-04-11 6/300 2026-04-11 16:12 by 雨声余生
[考研] 求调剂 +3 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 14:13 by luhong1990
[考研] 生物学调剂 +8 小冉要努力 2026-04-10 9/450 2026-04-11 10:22 by wwj2530616
[考研] 一志愿211,化学310分,本科重点双非,求调剂 +23 努力奋斗112 2026-04-08 23/1150 2026-04-10 23:29 by 314126402
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 266求调剂 +29 阳阳哇塞 2026-04-07 29/1450 2026-04-10 16:20 by 高维春
[考研] 085501机械英二77总分294求调剂,接受跨专业学习 +6 守法公民亓纪 2026-04-08 6/300 2026-04-09 15:55 by wp06
[考研] 一志愿西南大学生物学学硕344 求生物学相关调剂/生物与医药 +7 超人不会飞@ 2026-04-08 7/350 2026-04-09 09:35 by gong120082
[考研] 308求调剂 +17 墨墨漠 2026-04-06 17/850 2026-04-09 09:25 by 壹往無前
[考研] 304求调剂 +10 素年祭语 2026-04-06 17/850 2026-04-08 09:05 by 蓝云思雨
[考研] 求调剂 +15 熊二想上岸 2026-04-06 15/750 2026-04-08 04:53 by 无际的草原
[考研] 316求调剂 +4 15318418673 2026-04-07 4/200 2026-04-07 22:12 by hemengdong
[考研] 一志愿西南090202求调剂 +4 在线求有学上 2026-04-07 4/200 2026-04-07 19:47 by biomichael
[考研] 325 调剂 +6 QQ小虾 2026-04-07 6/300 2026-04-07 15:17 by Ccclqqq
信息提示
请填处理意见