24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 727  |  回复: 7
当前主题已经存档。

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

[交流] 请教关于磁控溅射的相关问题

本人刚开始使用磁控溅射,想了解一下,我如果想做铜铟硒薄膜,是用单靶好,还是多靶好,请各位大虾指点!

还有就是硒化炉的相关参数有哪些,现在想买一台,请各位多提供一点信息!
谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供
溅射所得薄膜与合金靶的成分基本一致,如果需要调整薄膜组成比例,最好还是用多靶
2楼2007-11-28 14:59:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

谢谢,如果用合金靶的话,因为各个成分的温度性质不一样,比如熔点什么的,这应该会对薄膜质量产生影响吧
3楼2007-11-29 20:15:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

多靶溅射薄膜的成分主要由靶面积、溅射所用功率等工艺条件、靶材料溅射产额及其在基片上的附着率来决定,与各组元熔点蒸气压没什么关系
4楼2007-11-29 20:51:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley

如果是蒸发镀膜的话,合金材料做蒸发源就会出现合金薄膜偏析,膜组成不均匀的情况,溅射镀膜不会有这种情况,而且薄膜的成分基本与合金靶一致,

多靶溅射时可以通过调整靶的输出功率改变膜的金属组分比,而且可以通过加入反应性气体得到化合物膜,

比如制备TixAlyN薄膜
5楼2007-11-29 21:36:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

waylee2000

金虫 (著名写手)

1

南开再做一个863项目.
去南开问最好了.
用溅射作CIS?你慢慢摸索,找到工艺告诉我们啊,哈哈哈
1
6楼2007-11-29 23:56:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

我会努力找合适的工艺的,希望各位大虾以后多指点!
7楼2007-12-02 08:51:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanchengxi

新虫 (初入文坛)

楼上几位说的不错。磁控溅射工艺参数主要就是各溅射靶的功率,以及外加反应气体的流量(或者叫压力,对于镀制化合物薄膜来说)。其他当然还要考虑真空室真空度,冷却系统,靶的空间排布等等。
8楼2007-12-02 09:45:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liu2004m 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085400电子信息类(川大控制工程)求调剂可跨专业 求老师联系 +6 626776879 2026-04-08 6/300 2026-04-14 20:09 by gwjxiaolang
[考研] 302分求调剂 +10 凡语祈愿 2026-04-08 11/550 2026-04-14 16:50 by jiangguiquan11
[考研] 恳请有学校收留 +3 柯淮然 2026-04-12 3/150 2026-04-14 16:25 by 逆水乘风
[考研] 本科211,报考085601-310分 +16 ararak 2026-04-13 16/800 2026-04-14 14:55 by Delta2012
[教师之家] 转长聘了 +7 简单化xn 2026-04-13 7/350 2026-04-14 14:50 by xindong
[考研] 农学0904 312求调剂 +4 Say Never 2026-04-11 4/200 2026-04-14 09:10 by zs92450
[考研] 调剂 +10 只叙离别辞 2026-04-09 12/600 2026-04-11 20:57 by 逆水乘风
[考研] 283求调剂 086004考英二数二 +17 那个噜子 2026-04-10 18/900 2026-04-11 16:27 by 明月此时有
[考研] 农业管理302分求调剂 +3 xuening1 2026-04-10 3/150 2026-04-11 10:18 by zhq0425
[考研] 281求调剂 +11 觉得好的吧 2026-04-10 11/550 2026-04-11 09:35 by 逆水乘风
[考研] 337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 08:57 by zhq0425
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 368求调剂 +3 17385968172 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:12 by 电子奥德彪
[考研] 一志愿京区985,085401,与本科专业一致,电子信息工程, +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[考研] 机械专368 有去处吗 +4 种大树 2026-04-10 4/200 2026-04-10 15:31 by jiajinhpu
[考研] 282,电气工程专业,求调剂,不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 344求调剂 +7 丶风雪夜归人丶 2026-04-09 7/350 2026-04-10 12:05 by pengliang8036
[论文投稿] 求助文献原文 10+3 18500821399 2026-04-08 3/150 2026-04-09 16:56 by 北京莱茵润色
[考研] 求调剂 +3 猪肉墩粉条cc 2026-04-08 4/200 2026-04-09 10:05 by 猪肉墩粉条cc
[考研] 286求调剂 +19 Faune 2026-04-08 20/1000 2026-04-09 08:36 by 哦哦123
信息提示
请填处理意见