24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 710  |  回复: 7
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

[交流] 请教关于磁控溅射的相关问题

本人刚开始使用磁控溅射,想了解一下,我如果想做铜铟硒薄膜,是用单靶好,还是多靶好,请各位大虾指点!

还有就是硒化炉的相关参数有哪些,现在想买一台,请各位多提供一点信息!
谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

谢谢,如果用合金靶的话,因为各个成分的温度性质不一样,比如熔点什么的,这应该会对薄膜质量产生影响吧
3楼2007-11-29 20:15:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

wesley


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供
溅射所得薄膜与合金靶的成分基本一致,如果需要调整薄膜组成比例,最好还是用多靶
2楼2007-11-28 14:59:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

多靶溅射薄膜的成分主要由靶面积、溅射所用功率等工艺条件、靶材料溅射产额及其在基片上的附着率来决定,与各组元熔点蒸气压没什么关系
4楼2007-11-29 20:51:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley

如果是蒸发镀膜的话,合金材料做蒸发源就会出现合金薄膜偏析,膜组成不均匀的情况,溅射镀膜不会有这种情况,而且薄膜的成分基本与合金靶一致,

多靶溅射时可以通过调整靶的输出功率改变膜的金属组分比,而且可以通过加入反应性气体得到化合物膜,

比如制备TixAlyN薄膜
5楼2007-11-29 21:36:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0854调剂 +12 长弓傲 2026-04-09 13/650 2026-04-12 09:56 by 逆水乘风
[考研] 280求调剂 +7 兮兮夜夜 2026-04-09 10/500 2026-04-12 00:33 by 蓝云思雨
[考研] 280求调剂 +13 wzzz王 2026-04-09 13/650 2026-04-12 00:31 by 勇攀高峰0126
[考研] 366求调剂 +7 不知名的小卅 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:45 by PeggyPeng17
[考研] 化工求调剂! +35 RichLi_ 2026-04-06 35/1750 2026-04-11 11:02 by zhq0425
[硕博家园] 新一代电子信息294求调剂 不挑学校 +6 Ytyt11 2026-04-09 7/350 2026-04-11 10:52 by AA小小木虫
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 调剂 +19 小张ZA 2026-04-10 20/1000 2026-04-10 22:08 by 猪会飞
[考研] 344求调剂 +7 丶风雪夜归人丶 2026-04-09 7/350 2026-04-10 12:05 by pengliang8036
[考研] 机械还有还有名额吗?太难了 +6 笑笑袁 2026-04-10 6/300 2026-04-10 11:54 by 高维春
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +20 慕绝cc 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 10:22 by xujun0624
[考研] 347材料专硕求调剂 +19 zj8215216 2026-04-06 19/950 2026-04-10 09:36 by 690616278
[考研] 274求调剂 +5 山阿蔓 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:28 by 18828373951
[考研] 二次调剂求老师收留 +3 笑笑袁 2026-04-08 3/150 2026-04-08 23:50 by 醉在风里
[考研] 软件工程求调剂22软工296分求调剂,接受跨调 +4 yangchen2017 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:56 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿南京航空航天大学 材料与化工329分求调剂 +11 Mr. Z 2026-04-05 12/600 2026-04-08 16:15 by luoyongfeng
[考研] 一志愿吉大化学327求调剂 +12 王王白石 2026-04-06 13/650 2026-04-08 16:05 by luoyongfeng
[考研] 一志愿哈工大,初试329,求环境科学与工程调剂! +11 余未辛 2026-04-06 11/550 2026-04-08 15:21 by screening
[考研] 313求调剂 +3 十六拾陆 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:20 by lbsjt
信息提示
请填处理意见