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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子物理 » AFM硅基片清洗
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1585729300

新虫 (小有名气)

[交流] AFM硅基片清洗

我是做高分子薄膜的新手，希望请教下硅片清洗，我做的不标准，希望大家能交流下怎么清洗硅片，越细越好，在此谢谢大家了。
我一般用的是，先用丙酮超声，把主要的聚合物残余清洗掉，然后用水冲一下，放入浓硫酸在八十摄氏度条件下煮15分钟，然后超声波依次用丙酮，酒精和水清洗，清洗的时候发现丙酮和酒精不是很溶，所以可能是残余粘附在硅片上比较麻烦，可能是没洗干净，希望按照RCA吧，没做过，希望做过的能指点一二，特别是细节。这样可以安全些，谢谢啦
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1楼 2013-09-27 09:34:43
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1585729300

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by vmuch520 at 2013-09-27 10:43:15
大概：
浓硫酸和双氧水按7:3，110度，煮半个小时。在清洗，超声。清洗的容器要干净，而且要一片一片的洗。
然后超纯水超声清洗。最后N2流吹干。

一片一片洗，我觉得很对，你们用的也是小烧杯是吧？
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6楼2013-09-29 10:13:00
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
1585729300(金币+1): 谢谢参与
异氰酸酯: 金币+1, 感谢交流 2013-10-01 22:27:11
大概：
浓硫酸和双氧水按7:3，110度，煮半个小时。在清洗，超声。清洗的容器要干净，而且要一片一片的洗。
然后超纯水超声清洗。最后N2流吹干。
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3楼2013-09-27 10:43:15
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
1585729300: 金币+7, thanks very much and beneifited from the files a lot，thanks again 2013-09-29 10:16:14
参考这些：
http://www.engr.uky.edu/~cmmed/CMMEDpdf/WetBench.pdf
http://www.engr.ucsb.edu/~memsuc ... PIRANHA%20CLEAN.pdf
http://nano.wustl.edu/doc/Instru ... er%20processing.pdf
http://engineering.tufts.edu/mic ... iranhaClean_SOP.pdf
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4楼2013-09-27 10:51:26
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hnppm

木虫 (著名写手)
★
1585729300(金币+1): 谢谢参与
我也没知道

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2013-09-27 11:30:09
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