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1585729300

新虫 (小有名气)


[交流] AFM硅基片清洗

我是做高分子薄膜的新手,希望请教下硅片清洗,我做的不标准,希望大家能交流下怎么清洗硅片,越细越好,在此谢谢大家了。
我一般用的是,先用丙酮超声,把主要的聚合物残余清洗掉,然后用水冲一下,放入浓硫酸在八十摄氏度条件下煮15分钟,然后超声波依次用丙酮,酒精和水清洗,清洗的时候发现丙酮和酒精不是很溶,所以可能是残余粘附在硅片上比较麻烦,可能是没洗干净,希望按照RCA吧,没做过,希望做过的能指点一二,特别是细节。这样可以安全些,谢谢啦
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★ ★
1585729300(金币+1): 谢谢参与
异氰酸酯: 金币+1, 感谢交流 2013-10-01 22:27:11
大概:
浓硫酸和双氧水按7:3,110度,煮半个小时。在清洗,超声。清洗的容器要干净,而且要一片一片的洗。
然后超纯水超声清洗。最后N2流吹干。
3楼2013-09-27 10:43:15
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4楼2013-09-27 10:51:26
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hnppm

木虫 (著名写手)



1585729300(金币+1): 谢谢参与
我也没知道

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2013-09-27 11:30:09
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1585729300

新虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by vmuch520 at 2013-09-27 10:43:15
大概:
浓硫酸和双氧水按7:3,110度,煮半个小时。在清洗,超声。清洗的容器要干净,而且要一片一片的洗。
然后超纯水超声清洗。最后N2流吹干。

一片一片洗,我觉得很对,你们用的也是小烧杯是吧?
6楼2013-09-29 10:13:00
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zzwywt

木虫 (小有名气)


乙醇,超声,丙酮
7楼2013-09-30 11:34:52
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
内容已删除
8楼2013-10-01 18:41:14
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adam_

铁虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by vmuch520 at 2013-09-27 10:43:15
大概:
浓硫酸和双氧水按7:3,110度,煮半个小时。在清洗,超声。清洗的容器要干净,而且要一片一片的洗。
然后超纯水超声清洗。最后N2流吹干。

浓硫酸和双氧水110°煮用什么加热装置呢?油浴锅?
9楼2016-12-19 13:32:32
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简单回复
5110241352楼
2013-09-27 09:49   回复  
1585729300(金币+1): 谢谢参与
祝福
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