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1585729300新虫 (小有名气)
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[交流]
AFM硅基片清洗
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我是做高分子薄膜的新手，希望请教下硅片清洗，我做的不标准，希望大家能交流下怎么清洗硅片，越细越好，在此谢谢大家了。 我一般用的是，先用丙酮超声，把主要的聚合物残余清洗掉，然后用水冲一下，放入浓硫酸在八十摄氏度条件下煮15分钟，然后超声波依次用丙酮，酒精和水清洗，清洗的时候发现丙酮和酒精不是很溶，所以可能是残余粘附在硅片上比较麻烦，可能是没洗干净，希望按照RCA吧，没做过，希望做过的能指点一二，特别是细节。这样可以安全些，谢谢啦 |
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