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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 咨询:碳管生长问题

请教:实验中用RFPECVD,Ni催化剂(650-700℃),气氛H2 Ar C2H2,多次调参数,未长出碳管如图,不知道原因。请给位高手不吝赐教。谢谢

[ Last edited by chenjin on 2013-9-26 at 20:40 ]
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★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢你的指导 2013-09-26 21:47:11
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
5楼2013-09-26 16:21:10
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绍敏郡主

木虫 (著名写手)


引用回帖:
15楼: Originally posted by chenjin at 2013-09-26 17:09:23
磁控溅射 和 蒸镀 都做过 但效果差不多...

催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。

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17楼2013-09-26 17:25:05
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
看不到图。建议换一下催化剂。这个反应不需要RF。对于C2H2,温度问题不大。
20楼2013-09-27 16:06:17
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绍敏郡主

木虫 (著名写手)


★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
4楼2013-09-26 16:11:20
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foxs2

木虫 (文坛精英)


★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
加油
14楼2013-09-26 17:06:22
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by 绍敏郡主 at 2013-09-26 16:11:20
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?

磁控溅射 和 蒸镀 都做过 但效果差不多
15楼2013-09-26 17:09:23
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-09-26 16:21:10
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。

温度做过750  Fe Ni 都做不出来  另外等离子体增强的话 乙炔 700度左右低吗。谢谢你的回复。
16楼2013-09-26 17:10:41
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 绍敏郡主 at 2013-09-26 17:25:05
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。...

Fe催化剂为1-2 nm,下面为10 nm左右Al2O3,效果也不好。谢谢你。
19楼2013-09-26 20:20:52
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


不需要NI
21楼2013-09-27 16:06:46
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
20楼: Originally posted by lvyiyilv at 2013-09-27 16:06:17
看不到图。建议换一下催化剂。这个反应不需要RF。对于C2H2,温度问题不大。

谢谢了 每次的催化剂都团聚尤其Ni/Al,而Fe/Al2O3的也没出来。
22楼2013-09-27 17:29:29
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lgm2011

金虫 (正式写手)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我能很好的生长出来。Fe Al催化,生长阵列。你要么?
24楼2013-09-27 23:11:15
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


内容已删除
25楼2013-09-28 09:17:54
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lgm2011

金虫 (正式写手)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
内容已删除
26楼2013-09-28 15:05:05
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fuhai89

金虫 (正式写手)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
05年注册  到现在已经有 9年了  楼主应该是 博士后
27楼2014-04-29 22:00:10
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
27楼: Originally posted by fuhai89 at 2014-04-29 22:00:10
05年注册  到现在已经有 9年了  楼主应该是 博士后

不是  工作了 五年了
28楼2014-04-30 08:35:38
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xiejf2楼
2013-09-26 15:58   回复  
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haixiawu3楼
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wlxiao6楼
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