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咨询:碳管生长问题
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chenjin
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虫号: 102844
[交流]
咨询:碳管生长问题
请教:实验中用RFPECVD,Ni催化剂(650-700℃),气氛H2 Ar C2H2,多次调参数,未长出碳管如图,不知道原因。请给位高手不吝赐教。谢谢
[
Last edited by chenjin on 2013-9-26 at 20:40
]
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2013-09-26 15:42:49
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15楼
:
Originally posted by
chenjin
at 2013-09-26 17:09:23
磁控溅射 和 蒸镀 都做过 但效果差不多...
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。
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chenjin
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17楼
2013-09-26 17:25:05
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★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
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4楼
2013-09-26 16:11:20
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wulishi8
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★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢你的指导
2013-09-26 21:47:11
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
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5楼
2013-09-26 16:21:10
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