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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 咨询:碳管生长问题

请教:实验中用RFPECVD,Ni催化剂(650-700℃),气氛H2 Ar C2H2,多次调参数,未长出碳管如图,不知道原因。请给位高手不吝赐教。谢谢

[ Last edited by chenjin on 2013-9-26 at 20:40 ]
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 绍敏郡主 at 2013-09-26 17:25:05
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。...

Fe催化剂为1-2 nm,下面为10 nm左右Al2O3,效果也不好。谢谢你。
19楼2013-09-26 20:20:52
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绍敏郡主

木虫 (著名写手)



chenjin(金币+1): 谢谢参与
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
4楼2013-09-26 16:11:20
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chenjin(金币+1): 谢谢参与
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢你的指导 2013-09-26 21:47:11
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
5楼2013-09-26 16:21:10
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