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咨询:碳管生长问题
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chenjin
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[交流]
咨询:碳管生长问题
请教:实验中用RFPECVD,Ni催化剂(650-700℃),气氛H2 Ar C2H2,多次调参数,未长出碳管如图,不知道原因。请给位高手不吝赐教。谢谢
[
Last edited by chenjin on 2013-9-26 at 20:40
]
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1楼
2013-09-26 15:42:49
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chenjin
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17楼
:
Originally posted by
绍敏郡主
at 2013-09-26 17:25:05
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。...
Fe催化剂为1-2 nm,下面为10 nm左右Al2O3,效果也不好。谢谢你。
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19楼
2013-09-26 20:20:52
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绍敏郡主
木虫
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★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
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4楼
2013-09-26 16:11:20
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wulishi8
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虫号: 654606
★
chenjin(金币+1): 谢谢参与
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢你的指导
2013-09-26 21:47:11
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
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5楼
2013-09-26 16:21:10
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