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咨询:碳管生长问题
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chenjin
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咨询:碳管生长问题
请教:实验中用RFPECVD,Ni催化剂(650-700℃),气氛H2 Ar C2H2,多次调参数,未长出碳管如图,不知道原因。请给位高手不吝赐教。谢谢
[
Last edited by chenjin on 2013-9-26 at 20:40
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2013-09-26 15:42:49
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chenjin(金币+1): 谢谢参与
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢你的指导
2013-09-26 21:47:11
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
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2013-09-26 16:21:10
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15楼
:
Originally posted by
chenjin
at 2013-09-26 17:09:23
磁控溅射 和 蒸镀 都做过 但效果差不多...
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。
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chenjin
17楼
2013-09-26 17:25:05
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chenjin(金币+1): 谢谢参与
看不到图。建议换一下催化剂。这个反应不需要RF。对于C2H2,温度问题不大。
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2013-09-27 16:06:17
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chenjin(金币+1): 谢谢参与
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
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2013-09-26 16:11:20
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2013-09-26 17:06:22
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4楼
:
Originally posted by
绍敏郡主
at 2013-09-26 16:11:20
看起来像是催化剂的问题,催化剂结块太严重了。
催化剂是怎么制备的?
磁控溅射 和 蒸镀 都做过 但效果差不多
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15楼
2013-09-26 17:09:23
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wulishi8
at 2013-09-26 16:21:10
温度有点低。是不是Ni太厚了。
换成铁催化剂,好长。
温度做过750 Fe Ni 都做不出来 另外等离子体增强的话 乙炔 700度左右低吗。谢谢你的回复。
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16楼
2013-09-26 17:10:41
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绍敏郡主
at 2013-09-26 17:25:05
催化剂下面有氧化铝层吗?
刚开始先试常规CVD,成功了再用等离子体增强吧。...
Fe催化剂为1-2 nm,下面为10 nm左右Al2O3,效果也不好。谢谢你。
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19楼
2013-09-26 20:20:52
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2013-09-27 16:06:46
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lvyiyilv
at 2013-09-27 16:06:17
看不到图。建议换一下催化剂。这个反应不需要RF。对于C2H2,温度问题不大。
谢谢了 每次的催化剂都团聚尤其Ni/Al,而Fe/Al2O3的也没出来。
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22楼
2013-09-27 17:29:29
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我能很好的生长出来。Fe Al催化,生长阵列。你要么?
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2013-09-27 23:11:15
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2013-09-28 09:17:54
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lgm2011
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26楼
2013-09-28 15:05:05
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05年注册 到现在已经有 9年了 楼主应该是 博士后
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27楼
2014-04-29 22:00:10
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Originally posted by
fuhai89
at 2014-04-29 22:00:10
05年注册 到现在已经有 9年了 楼主应该是 博士后
不是 工作了 五年了
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2014-04-30 08:35:38
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