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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)

[交流] 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉

在硅片上制得多孔硅后，欲将多孔硅腐蚀掉，采用什么方法能够实现
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@静静一yi

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1楼 2013-09-17 20:18:59
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
在硅片变面做一层阻挡层行不行？
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6楼2013-09-18 07:40:40
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

在硅片表面，打错字了。。
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7楼2013-09-18 07:41:16
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

不行啊，要用硅衬底做多孔硅的
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8楼2013-09-18 08:18:17
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
有多厚啊？反应等离子刻蚀掉。
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9楼2013-09-18 10:52:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
什么叫不完全腐蚀掉？多孔硅多厚硅片多厚？这种问题问的太模棱两可了。
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10楼2013-09-18 15:16:14
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
楼上的等离子刻蚀看起来可以吧，或许能不能把腐蚀液滴在硅片表面，计算腐蚀时间，多孔硅的孔洞可以找其他材料填上。
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11楼2013-09-18 22:13:11
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-18 15:16:14
什么叫不完全腐蚀掉？多孔硅多厚硅片多厚？这种问题问的太模棱两可了。

硅片两微米厚。我是想腐蚀硅片制备多孔硅，然后生长一层模板再将部分多孔硅腐蚀掉
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12楼2013-09-20 21:39:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by Mars-Cherry at 2013-09-20 21:39:50
硅片两微米厚。我是想腐蚀硅片制备多孔硅，然后生长一层模板再将部分多孔硅腐蚀掉...

2um？？？
超薄硅片还是SOI？
腐蚀硅有很多常用配方，就看是否腐蚀你的模板了
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13楼2013-09-22 22:57:27
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-22 22:57:27
2um？？？
超薄硅片还是SOI？
腐蚀硅有很多常用配方，就看是否腐蚀你的模板了...

不好意思，我弄错了。
0.4mm的硅片，是不是腐蚀硅一般都要用氢氟酸。
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14楼2013-09-24 08:15:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by Mars-Cherry at 2013-09-24 08:15:54
不好意思，我弄错了。
0.4mm的硅片，是不是腐蚀硅一般都要用氢氟酸。...

不是，腐蚀硅用KOH
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15楼2013-09-24 16:56:10
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
腐蚀氧化硅是HF,硅用KOH.

楼主如果需要硅片，光刻胶的等耗材可以联系我~~
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16楼2013-09-24 22:22:38
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风雨中恋着你

木虫 (职业作家)
我明天给你问问

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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17楼2013-09-24 23:27:18
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cai5xj

新虫 (小有名气)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
我师姐是用氢氧化钠的热饱和溶液抛光，用棉签醮了之后均匀滴到硅片上面，等反应完之后，用去离子水冲洗就可以了
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19楼2014-03-03 16:54:53
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yghuang

铜虫 (初入文坛)
磨抛

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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21楼2014-03-03 21:24:28
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84175918

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
19楼: Originally posted by cai5xj at 2014-03-03 16:54:53
我师姐是用氢氧化钠的热饱和溶液抛光，用棉签醮了之后均匀滴到硅片上面，等反应完之后，用去离子水冲洗就可以了

我想要 腐蚀后的多孔硅 用这个方法 多孔硅是不是都不能用了呢
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22楼2014-07-04 09:16:17
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简单回复
readytogo2楼
2013-09-17 20:49   回复  
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
userhung3楼
2013-09-17 20:50   回复  
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
lefantian1224楼
2013-09-17 20:56   回复  
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
yingying15885楼
2013-09-17 23:45   回复  
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
xiejf18楼
2013-09-29 19:30   回复  
xiejf20楼
2014-03-03 19:11   回复  
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
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