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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)

[交流] 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉

在硅片上制得多孔硅后，欲将多孔硅腐蚀掉，采用什么方法能够实现
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@静静一yi

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1楼 2013-09-17 20:18:59
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84175918

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
19楼: Originally posted by cai5xj at 2014-03-03 16:54:53
我师姐是用氢氧化钠的热饱和溶液抛光，用棉签醮了之后均匀滴到硅片上面，等反应完之后，用去离子水冲洗就可以了

我想要 腐蚀后的多孔硅 用这个方法 多孔硅是不是都不能用了呢
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22楼2014-07-04 09:16:17
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
在硅片变面做一层阻挡层行不行？
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6楼2013-09-18 07:40:40
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

在硅片表面，打错字了。。
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7楼2013-09-18 07:41:16
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

不行啊，要用硅衬底做多孔硅的
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8楼2013-09-18 08:18:17
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