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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)

[交流] 在硅片上制得了多孔硅如何去除多孔硅而不至于将硅衬底完全腐蚀掉

在硅片上制得多孔硅后，欲将多孔硅腐蚀掉，采用什么方法能够实现
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@静静一yi

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1楼 2013-09-17 20:18:59
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-22 22:57:27
2um？？？
超薄硅片还是SOI？
腐蚀硅有很多常用配方，就看是否腐蚀你的模板了...

不好意思，我弄错了。
0.4mm的硅片，是不是腐蚀硅一般都要用氢氟酸。
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14楼2013-09-24 08:15:54
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
★
Mars-Cherry(金币+1): 谢谢参与
在硅片变面做一层阻挡层行不行？
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6楼2013-09-18 07:40:40
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

在硅片表面，打错字了。。
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7楼2013-09-18 07:41:16
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Mars-Cherry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sunwh_cool at 2013-09-18 07:40:40
在硅片变面做一层阻挡层行不行？

不行啊，要用硅衬底做多孔硅的
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8楼2013-09-18 08:18:17
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