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光刻工艺
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| 光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？ |
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 薄膜材料的表征 | 制程设备维护保养 | 薄膜材料和器件制备 |
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4楼2013-09-04 08:38:28
2楼2013-09-03 22:38:34
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - MN-EPI: 8
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-09-04 00:34:42
