应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺
51/1返回列表
查看: 988  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺

光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征 制程设备维护保养 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
查资料
1楼 2013-09-03 19:42:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月夜1546

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 真空涨落 at 2013-09-03 22:38:34
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？

你说的对，其实也没有太大影响，衍射圆环图案在硅片也只是轻微的出现（肉眼逆光才能隐隐看见，显微镜下看不到）。
赞一下 回复此楼
查资料
4楼2013-09-04 08:38:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

真空涨落

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？
赞一下(1人) 回复此楼
物含妙理总堪寻
2楼2013-09-03 22:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+5 2013-09-04 08:38:57
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-09-04 16:07:44
接触的时候出现的牛顿环是光刻胶表面和mask接触的间隙不同造成的。如果是紧密接触（理想的真空接触），牛顿环不应该出现，或者是花纹很大。对最终的曝光结果，一般是不影响的，除非你的线条非常细，不同的接触间隙造成不同的分辨率结果。
显影过后你看到的圆环，是光刻胶不同厚度造成的。在显微镜下测量一下各处的线宽，中心点和周围点的区别。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2013-09-04 00:34:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 帮忙看看fileCode +4 wwncly 2026-08-10 8/400 2026-08-10 22:07 by demonstreets
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +3 Tide man 2026-08-10 3/150 2026-08-10 21:48 by GZUZM
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +10 yufeiwaner 2026-08-09 11/550 2026-08-10 18:47 by yufeiwaner
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 11/550 2026-08-10 17:09 by 六两废铜
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +4 布布和一二 2026-08-10 4/200 2026-08-10 14:50 by 医学老男孩
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +11 archvillain 2026-08-04 13/650 2026-08-10 14:41 by seekfind
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭