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月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺

光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？
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1楼 2013-09-03 19:42:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+5 2013-09-04 08:38:57
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-09-04 16:07:44
接触的时候出现的牛顿环是光刻胶表面和mask接触的间隙不同造成的。如果是紧密接触（理想的真空接触），牛顿环不应该出现，或者是花纹很大。对最终的曝光结果，一般是不影响的，除非你的线条非常细，不同的接触间隙造成不同的分辨率结果。
显影过后你看到的圆环，是光刻胶不同厚度造成的。在显微镜下测量一下各处的线宽，中心点和周围点的区别。
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3楼2013-09-04 00:34:42
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真空涨落

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？
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物含妙理总堪寻
2楼2013-09-03 22:38:34
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月夜1546

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 真空涨落 at 2013-09-03 22:38:34
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？

你说的对，其实也没有太大影响，衍射圆环图案在硅片也只是轻微的出现（肉眼逆光才能隐隐看见，显微镜下看不到）。
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4楼2013-09-04 08:38:28
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