应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺
41/1返回列表
查看: 828  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺

光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征 制程设备维护保养 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
查资料
1楼 2013-09-03 19:42:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？
赞一下(1人) 回复此楼
物含妙理总堪寻
2楼2013-09-03 22:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+5 2013-09-04 08:38:57
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-09-04 16:07:44
接触的时候出现的牛顿环是光刻胶表面和mask接触的间隙不同造成的。如果是紧密接触（理想的真空接触），牛顿环不应该出现，或者是花纹很大。对最终的曝光结果，一般是不影响的，除非你的线条非常细，不同的接触间隙造成不同的分辨率结果。
显影过后你看到的圆环，是光刻胶不同厚度造成的。在显微镜下测量一下各处的线宽，中心点和周围点的区别。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2013-09-04 00:34:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月夜1546

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 真空涨落 at 2013-09-03 22:38:34
衍射圆环应该不会那么严重吧？应该只在光刻胶上存在，是厚度的原因。光刻不影响吧？

你说的对，其实也没有太大影响，衍射圆环图案在硅片也只是轻微的出现（肉眼逆光才能隐隐看见，显微镜下看不到）。
赞一下 回复此楼
查资料
4楼2013-09-04 08:38:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 月夜1546 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭