| 查看: 722 | 回复: 3 | ||||||
[求助]
光刻工艺
|
| 光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？ |
回复此楼» 收录本帖的淘贴专辑推荐
 薄膜材料的表征 | 制程设备维护保养 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
广东以理材料系碳点与功能材料课题组 — 2博士名额 / 科研助理
已经有11人回复
-
24考博孤注一掷，寄在了复试，但是还是想上一个学
已经有39人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有248人回复
-
P4VP的GPC测试
已经有3人回复
-
求购商用高炉煤气精脱硫水解催化剂
已经有36人回复
2楼2013-09-03 22:38:34
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2574.7
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-09-04 00:34:42
4楼2013-09-04 08:38:28
50