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光刻工艺
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| 光刻时（接触式曝光），当硅片与掩膜版紧密接触时，出现了衍射圆环（彩色条纹状圆环），显影过后这个圆环图案也会出现在硅片上，这该怎么办？不紧密接触又怕曝光的图形尺寸误差会大，该怎么解决？ |
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2楼2013-09-03 22:38:34