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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 怎么对150nm的陶瓷薄膜进行XRD的相组成的检测
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SWJTU_qi

铁虫 (初入文坛)

[求助] 怎么对150nm的陶瓷薄膜进行XRD的相组成的检测

各位，最近需要对厚度约为150nm的陶瓷薄膜进行XRD的相组成的检测，不知道是用小角衍射还是掠入射衍射。学校的XRD仪器有Cu靶和Co靶，不知用那种靶可以得到较好的结果,请各位多多交流！
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Everything will be fine
1楼 2013-09-01 10:34:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
掠入射，扫速慢点，靶无所谓，一般用的多的Cu就可以，不过有没有信号就不太好说了，测了试试吧
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2楼2013-09-01 14:02:47
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绽放2012

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
入射角 0.5   2θ轴扫描~  时间尽量的慢。引号会比平时弱。
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3楼2013-09-02 07:10:21
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tangps

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
把膜放到或沉积到样品台上进行测试，150nm膜有可能被X射线击穿，可以在膜的下面先沉积一层松香之类的再放膜。
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任何时候都需淡定。
4楼2013-09-02 07:47:19
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SWJTU_qi

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-01 14:02:47
掠入射，扫速慢点，靶无所谓，一般用的多的Cu就可以，不过有没有信号就不太好说了，测了试试吧

昨天刚做完，貌似没有信号。。。。。。。可怜。。。。。测试老师用的是从10度到100度扫描
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Everything will be fine
5楼2013-09-04 16:06:43
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SWJTU_qi

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 绽放2012 at 2013-09-02 07:10:21
入射角 0.5   2θ轴扫描~  时间尽量的慢。引号会比平时弱。

测试老师扫描的角度范围好像是从10度开始的............
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6楼2013-09-04 16:07:58
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SWJTU_qi

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tangps at 2013-09-02 07:47:19
把膜放到或沉积到样品台上进行测试，150nm膜有可能被X射线击穿，可以在膜的下面先沉积一层松香之类的再放膜。

但是我是用溶胶凝胶法镀膜的，放松香确实不懂啊。。。。。
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7楼2013-09-04 16:09:08
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绽放2012

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

就是掠入射扫描，入射角0.5  探测器动~~
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8楼2013-09-04 17:51:08
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