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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜？
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wuhancctv

新虫 (初入文坛)

[交流] 在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜？

在洗干净的FTO玻璃上，要做一层100nm左右的阻隔层TiO2，大家是怎么做到的呢？做出来后厚度可以通过断面SEM来表征，那怎么判断得到的薄膜是致密层呢？
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1楼 2013-08-28 09:06:07
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上海四缤

新虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
磁控溅射应该可以，台阶仪测厚度
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2楼2013-08-28 09:26:11
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
??
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4楼2013-08-28 10:05:57
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danrushui777

木虫 (正式写手)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
楼主心情好好的，吃的饱饱的
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5楼2013-08-28 10:06:29
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ustcmm

铜虫 (正式写手)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
我们实验室就是用磁控溅射做的，致密性的话SEM应该可以看吧
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6楼2013-08-28 10:10:41
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yangy1220

新虫 (职业作家)
★
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祝福楼主
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8楼2013-08-28 10:23:02
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coco729

铁虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
Good luck
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16楼2013-08-28 11:03:04
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ttmany7788

铁虫 (知名作家)
★
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愿楼主心想事成
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17楼2013-08-28 11:05:06
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qingxiang827

铁虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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18楼2013-08-28 11:06:07
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freedom767

铁虫 (知名作家)
★
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Best wishes
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19楼2013-08-28 11:06:10
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pigit9999

铁虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
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20楼2013-08-28 11:06:10
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gitme3388

铁虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
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21楼2013-08-28 11:06:13
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bryano

木虫 (正式写手)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
6楼正解。生长膜手段就看你实验室有什么设备了。
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25楼2013-08-28 19:04:34
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月牙儿的微笑

版主 (职业作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
我们实验室用PLD长薄膜
致密层的话扫描看俯视图应该就能看出来的

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27楼2013-09-04 23:12:05
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奇趣玩意铺

捐助贵宾 (正式写手)
★
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旋涂不可以吗

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28楼2013-09-04 23:36:36
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寒武纪000

银虫 (初入文坛)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
我也在做这个，不过我打算用旋涂来镀氧化铝作为dielectric layer。我是打算用sem来看厚度的。
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29楼2013-09-05 06:26:21
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hongying722

新虫 (初入文坛)
★
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水热法做的,但是问题多多...
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31楼2015-03-16 10:51:51
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readytogo3楼
2013-08-28 09:30   回复  
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yingying15887楼
2013-08-28 10:15   回复  
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dyz7310139楼
2013-08-28 10:24   回复  
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段小飞10楼
2013-08-28 10:29   回复  
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lefantian12211楼
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沧__海12楼
2013-08-28 10:33   回复  
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奋力拼搏13楼
2013-08-28 10:39   回复  
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lisayake14楼
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xiejf15楼
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