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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜？
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wuhancctv

新虫 (初入文坛)

[交流] 在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜？

在洗干净的FTO玻璃上，要做一层100nm左右的阻隔层TiO2，大家是怎么做到的呢？做出来后厚度可以通过断面SEM来表征，那怎么判断得到的薄膜是致密层呢？
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1楼2013-08-28 09:06:07
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寒武纪000

银虫 (初入文坛)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
我也在做这个，不过我打算用旋涂来镀氧化铝作为dielectric layer。我是打算用sem来看厚度的。
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29楼2013-09-05 06:26:21
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上海四缤

新虫 (知名作家)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
磁控溅射应该可以，台阶仪测厚度
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2楼2013-08-28 09:26:11
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
学习
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4楼2013-08-28 10:05:57
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danrushui777

木虫 (正式写手)
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
楼主心情好好的，吃的饱饱的
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5楼2013-08-28 10:06:29
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沧__海12楼
2013-08-28 10:33   回复  
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
， [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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