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在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜?
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wuhancctv
新虫
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虫号: 1996328
[交流]
在FTO玻璃上怎么镀上nm级别的薄膜?
在洗干净的FTO玻璃上,要做一层100nm左右的阻隔层TiO2,大家是怎么做到的呢?做出来后厚度可以通过断面SEM来表征,那怎么判断得到的薄膜是致密层呢?
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1楼
2013-08-28 09:06:07
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danrushui777
木虫
(正式写手)
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★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
楼主心情好好的,吃的饱饱的
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5楼
2013-08-28 10:06:29
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上海四缤
新虫
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虫号: 1458366
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
磁控溅射应该可以,台阶仪测厚度
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2楼
2013-08-28 09:26:11
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假大空
木虫之王
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★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
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4楼
2013-08-28 10:05:57
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ustcmm
铜虫
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帖子: 388
在线: 61小时
虫号: 2098227
★
wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
我们实验室就是用磁控溅射做的,致密性的话SEM应该可以看吧
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6楼
2013-08-28 10:10:41
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沧__海
12楼
2013-08-28 10:33
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wuhancctv(金币+1): 谢谢参与
,
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