应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 单晶硅基片经过高温加热表面会不会变得粗糙
71/1返回列表
查看: 1316  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

[交流] 单晶硅基片经过高温加热表面会不会变得粗糙 已有3人参与

如题，抛过光的单晶硅基片经过高温600度加热晶粒是否会继续生长，表面会不会变得粗糙

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-16 at 10:12 ]
回复此楼

» 本帖@通知

@静静一yi

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
何必看破
1楼 2013-08-16 10:09:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)
不会
回复此楼
新知*新世界*心动
2楼2013-08-16 15:04:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版交流 2013-08-16 22:02:37
不会变粗糙，600度对于硅来说不算高温。
更高温度下，生长氧化层后，粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题？单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-08-16 17:37:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-16 17:37:55
不会变粗糙，600度对于硅来说不算高温。
更高温度下，生长氧化层后，粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题？单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。

谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-18 at 10:15 ]
赞一下 回复此楼
何必看破
4楼2013-08-18 10:03:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

如果是这样的话，你选择硅片就要小心了，市面上有些企业很不负责任，指标乱标的。比如，有些标Ra<0.5nm，除非是超平片，否则是不可能达到的，国内的正规企业基本上在Ra<1nm左右，浙江的没谱。
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-18 13:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

我那个机器是键合机
赞一下 回复此楼
6楼2013-08-18 13:41:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thankpro

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推荐一些正规的企业。
赞一下 回复此楼
7楼2014-09-17 21:09:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zvs1988 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +17 Lanmanbaby 2026-08-09 27/1350 2026-08-11 21:12 by klxdzh
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 yPv6ndDtiRxQ 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:09 by thgx1vqMqrLw
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 yPv6ndDtiRxQ 2026-08-11 3/150 2026-08-11 20:51 by thgx1vqMqrLw
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +3 工厂打螺丝 2026-08-08 3/150 2026-08-11 13:42 by 会议编辑
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭