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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

[交流] 单晶硅基片经过高温加热表面会不会变得粗糙 已有3人参与

如题,抛过光的单晶硅基片经过高温600度加热晶粒是否会继续生长,表面会不会变得粗糙

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-16 at 10:12 ]
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-16 17:37:55
不会变粗糙,600度对于硅来说不算高温。
更高温度下,生长氧化层后,粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题?单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。

谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜,想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-18 at 10:15 ]
何必看破
4楼2013-08-18 10:03:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版交流 2013-08-16 22:02:37
不会变粗糙,600度对于硅来说不算高温。
更高温度下,生长氧化层后,粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题?单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。
3楼2013-08-16 17:37:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜,想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

如果是这样的话,你选择硅片就要小心了,市面上有些企业很不负责任,指标乱标的。比如,有些标Ra<0.5nm,除非是超平片,否则是不可能达到的,国内的正规企业基本上在Ra<1nm左右,浙江的没谱。
5楼2013-08-18 13:41:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜,想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

我那个机器是键合机
6楼2013-08-18 13:41:35
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