应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 单晶硅基片经过高温加热表面会不会变得粗糙
71/1返回列表
查看: 1300  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

[交流] 单晶硅基片经过高温加热表面会不会变得粗糙 已有3人参与

如题，抛过光的单晶硅基片经过高温600度加热晶粒是否会继续生长，表面会不会变得粗糙

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-16 at 10:12 ]
回复此楼

» 本帖@通知

@静静一yi

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
何必看破
1楼 2013-08-16 10:09:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)
不会
回复此楼
新知*新世界*心动
2楼2013-08-16 15:04:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版交流 2013-08-16 22:02:37
不会变粗糙，600度对于硅来说不算高温。
更高温度下，生长氧化层后，粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题？单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-08-16 17:37:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-16 17:37:55
不会变粗糙，600度对于硅来说不算高温。
更高温度下，生长氧化层后，粗糙度才会有很小的变化。
为什么要问这个问题？单抛硅片的粗糙度差别还是挺大的。

谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧

[ Last edited by zvs1988 on 2013-8-18 at 10:15 ]
赞一下 回复此楼
何必看破
4楼2013-08-18 10:03:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

如果是这样的话，你选择硅片就要小心了，市面上有些企业很不负责任，指标乱标的。比如，有些标Ra<0.5nm，除非是超平片，否则是不可能达到的，国内的正规企业基本上在Ra<1nm左右，浙江的没谱。
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-18 13:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-08-18 10:03:55
谢谢你  问这个问题是因为要在600度那样做很平的薄膜，想把各个影响薄膜质量的因素都考虑进去  你这样一说我放心了
你那头像是ALD吧
...

我那个机器是键合机
赞一下 回复此楼
6楼2013-08-18 13:41:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thankpro

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推荐一些正规的企业。
赞一下 回复此楼
7楼2014-09-17 21:09:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zvs1988 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +5 a089 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:04 by alian_214
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +11 且听虎啸 2026-08-07 14/700 2026-08-08 12:50 by 布布和一二
[找工作] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 10:39 by 3OOjAIS77qg2
[基金申请] fileCode有新解读？ +8 Tide man 2026-08-08 16/800 2026-08-08 09:59 by Tide man
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 08:59 by 6vVgjDL4CnGu
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 08:27 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 化学口download_prp&amp;fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 4/200 2026-08-05 09:59 by lfy8008
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭