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请教关于SU8胶的一些问题
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请教各位用过SU8的大侠， 1. SU-8 2002 旋涂5000rpm, 30sec; 2. SU-8 2002 旋涂3000 rpm, 30sec; 3. SU-8 3025 旋涂2000 rpm, 30sec; 三种情况下胶的厚度是多少？ 另外，SU8有几种不同类型的胶？分别有什么不同？ 非常谢谢！ |
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yswyx 
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