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请教关于SU8胶的一些问题
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lyln
铜虫
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虫号: 478343
注册: 2007-12-14
专业: 生化分析及生物传感
[
求助
]
请教关于SU8胶的一些问题
请教各位用过SU8的大侠,
1. SU-8 2002 旋涂5000rpm, 30sec;
2. SU-8 2002 旋涂3000 rpm, 30sec;
3. SU-8 3025 旋涂2000 rpm, 30sec;
三种情况下胶的厚度是多少?
另外,SU8有几种不同类型的胶?分别有什么不同?
非常谢谢!
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1楼
2013-08-08 11:24:35
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mengxiang17
木虫
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专业: 生化分析及生物传感
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
仅供参考
http://www.cleanroom.byu.edu/su8.phtml
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3楼
2013-08-10 15:33:26
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yswyx
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虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
俺们已经不用这种SU8了,买起来太麻烦。
可以找”静静一yi”问问SU8的型号问题。他们的SU8有很多中,各种厚度,各种颜色,还有各种用途的。
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2楼
2013-08-08 15:32:50
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