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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 薄膜表面针孔状缺陷
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zkchang

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面针孔状缺陷 已有1人参与

磁控溅射沉积Ti膜，Cr膜，基体为玻璃。目前存在沉积薄膜表面存在针孔状缺陷。请问是何原因导致？如何解决？
薄膜表面针孔状缺陷
反射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-1
透射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-2
反射光-2.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-3
透射光-2.jpg
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1楼 2013-07-19 22:11:41
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friendlies

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善，还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层，然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底，再适当调节基底温度，针孔缺陷减少了很多，尺寸也变小了，刚取出真空腔时拿强光源照射也未发现有针孔，就是时间一久针孔就会变多变大。对于允许1um以下针孔存在的话，这种处理方式还是很有效的，我们的要求更高些，完全不能透过可见光，有经验分享一下
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3楼2014-11-26 16:52:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zkchang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有可能，谢谢参与～ 2013-07-21 18:47:45
是否是钛靶材纯度不够而带来的big particles或靶材密度较低引起的呢？
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2楼2013-07-20 11:27:30
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天海星云

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by friendlies at 2014-11-26 16:52:39
铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善，还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层，然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底，再适当调节基底温度，针孔缺陷减少了很多，尺寸也变小了 ...

请问一下您这适当调节温度是怎么个调法？升高温度吗？大概多少度啊？我们这反应溅射氮化铬膜也出现针孔现象，膜层厚度约0 5微米

发自小木虫Android客户端
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4楼2016-07-19 08:56:35
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小飞侠zt

新虫 (初入文坛)
楼主你好，我目前是一名研究生，课题是关于薄膜的，我也是用磁控溅射镀的金属膜，老师也要求我去检察一下针孔，我想请求一下你是怎么检测的呢（光源用的什么设备，接收图像用的什么设备，什么软件处理图像的呢），谢谢您了
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5楼2018-11-05 19:10:48
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