应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 薄膜表面针孔状缺陷
51/1返回列表
查看: 2408  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zkchang

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面针孔状缺陷 已有1人参与

磁控溅射沉积Ti膜，Cr膜，基体为玻璃。目前存在沉积薄膜表面存在针孔状缺陷。请问是何原因导致？如何解决？
薄膜表面针孔状缺陷
反射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-1
透射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-2
反射光-2.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-3
透射光-2.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-07-19 22:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zkchang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有可能，谢谢参与～ 2013-07-21 18:47:45
是否是钛靶材纯度不够而带来的big particles或靶材密度较低引起的呢？
赞一下 回复此楼
2楼2013-07-20 11:27:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

friendlies

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善，还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层，然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底，再适当调节基底温度，针孔缺陷减少了很多，尺寸也变小了，刚取出真空腔时拿强光源照射也未发现有针孔，就是时间一久针孔就会变多变大。对于允许1um以下针孔存在的话，这种处理方式还是很有效的，我们的要求更高些，完全不能透过可见光，有经验分享一下
赞一下 回复此楼
3楼2014-11-26 16:52:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天海星云

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by friendlies at 2014-11-26 16:52:39
铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善，还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层，然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底，再适当调节基底温度，针孔缺陷减少了很多，尺寸也变小了 ...

请问一下您这适当调节温度是怎么个调法？升高温度吗？大概多少度啊？我们这反应溅射氮化铬膜也出现针孔现象，膜层厚度约0 5微米

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-07-19 08:56:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小飞侠zt

新虫 (初入文坛)
楼主你好，我目前是一名研究生，课题是关于薄膜的，我也是用磁控溅射镀的金属膜，老师也要求我去检察一下针孔，我想请求一下你是怎么检测的呢（光源用的什么设备，接收图像用的什么设备，什么软件处理图像的呢），谢谢您了
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2018-11-05 19:10:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zkchang 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料调剂 +4 hzhahg 2026-04-06 4/200 2026-04-08 16:20 by luoyongfeng
[考研] 085404，285分求调剂 +4 薇薇考研 2026-04-07 4/200 2026-04-08 14:32 by zhq0425
[考研] 338求调剂 +8 wxygxsaaaaa 2026-04-06 8/400 2026-04-08 06:58 by 无际的草原
[考研] 362求调剂 +8 我要考大 2026-04-06 12/600 2026-04-08 00:32 by JourneyLucky
[考研] 11408 325分 +3 jgtxuxgkx 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:10 by lbsjt
[考研] 0703调剂 +16 拾玖壹 2026-04-04 18/900 2026-04-07 12:49 by flydream1314
[硕博家园] 0856材料化工求调剂，一志愿211，初试成绩349 +4 江淮北月 2026-04-05 4/200 2026-04-06 22:44 by chenzhimin
[考研] 工科370求调剂 +3 溏心煎鸡蛋 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:55 by 这是一个无聊的�
[考研] 302分 085601求调剂推荐 +11 zyx上岸！ 2026-04-05 11/550 2026-04-05 22:13 by dongzh2009
[考研] 材料调剂 +13 一样YWY 2026-04-03 14/700 2026-04-05 18:20 by 蓝云思雨
[考研] 考研生物学考A区211，初试322，科目生化和生物综合，求调剂 +6 。。。54 2026-04-03 6/300 2026-04-05 14:54 by JOKER0401
[考研] 考研调剂 +3 mcbbc 2026-04-04 3/150 2026-04-05 10:03 by barlinike
[考研] 考研调剂 +5 四川王涛 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:18 by 啵啵啵0119
[考研] 338求调剂 +7 晟功? 2026-04-03 7/350 2026-04-04 20:37 by 蓝云思雨
[考研] 调剂 +4 是可乐不是可乐 2026-04-04 4/200 2026-04-04 19:41 by 唐沐儿
[考研] 359求调剂 +7 hhhhaaaa$ 2026-04-04 7/350 2026-04-04 18:49 by imissbao
[考研] 工科341分调剂 +3 洛多罗 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:20 by 1753564080
[考研] 326求调剂 +10 崽崽仔 2026-04-02 10/500 2026-04-03 09:08 by 帕尔马拉特
[考研] 求调剂 +7 Aniyaio 2026-04-02 7/350 2026-04-02 16:42 by zzsw+
[考研] 283求调剂 +3 jiouuu 2026-04-02 4/200 2026-04-02 14:08 by 哒哒哒呱呱呱
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭