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zkchang

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面针孔状缺陷 已有1人参与

磁控溅射沉积Ti膜,Cr膜,基体为玻璃。目前存在沉积薄膜表面存在针孔状缺陷。请问是何原因导致?如何解决?
薄膜表面针孔状缺陷
反射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-1
透射光-1.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-2
反射光-2.jpg


薄膜表面针孔状缺陷-3
透射光-2.jpg
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zkchang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有可能,谢谢参与~ 2013-07-21 18:47:45
是否是钛靶材纯度不够而带来的big particles或靶材密度较低引起的呢?
2楼2013-07-20 11:27:30
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friendlies

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善,还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层,然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底,再适当调节基底温度,针孔缺陷减少了很多,尺寸也变小了,刚取出真空腔时拿强光源照射也未发现有针孔,就是时间一久针孔就会变多变大。对于允许1um以下针孔存在的话,这种处理方式还是很有效的,我们的要求更高些,完全不能透过可见光,有经验分享一下
3楼2014-11-26 16:52:39
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天海星云

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by friendlies at 2014-11-26 16:52:39
铬膜沉积的基底温度适当升高点会有明显改善,还有就是取出真空腔体后针孔会逐渐增多变大。我用金相砂纸磨去Cr靶表面的一层,然后用浓HNO3+浓HCl洗涤玻璃基底,再适当调节基底温度,针孔缺陷减少了很多,尺寸也变小了 ...

请问一下您这适当调节温度是怎么个调法?升高温度吗?大概多少度啊?我们这反应溅射氮化铬膜也出现针孔现象,膜层厚度约0 5微米

发自小木虫Android客户端
4楼2016-07-19 08:56:35
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小飞侠zt

新虫 (初入文坛)

楼主你好,我目前是一名研究生,课题是关于薄膜的,我也是用磁控溅射镀的金属膜,老师也要求我去检察一下针孔,我想请求一下你是怎么检测的呢(光源用的什么设备,接收图像用的什么设备,什么软件处理图像的呢),谢谢您了
5楼2018-11-05 19:10:48
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