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zkchang木虫 (小有名气)
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薄膜表面针孔状缺陷 已有1人参与
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磁控溅射沉积Ti膜，Cr膜，基体为玻璃。目前存在沉积薄膜表面存在针孔状缺陷。请问是何原因导致？如何解决？  反射光-1.jpg  透射光-1.jpg  反射光-2.jpg  透射光-2.jpg |
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peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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2楼2013-07-20 11:27:30