24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1464.4
帖子: 226
在线: 114.5小时
虫号: 1321426

[交流] 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较

我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。
请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征

科研设备设施

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

论文终于录用啦！满足毕业条件了已经有10人回复
2025年遐想已经有4人回复
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球已经有8人回复
求个博导看看已经有18人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2013-06-03 10:47:32

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

林深之夏

铁虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 639.1
帖子: 345
在线: 105.4小时
虫号: 2763403

★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与

引用回帖:

6楼: Originally posted by 季岩冰 at 2013-06-07 11:43:01
等离子体刻蚀根据工作气体成分与样品是否作用分为物理溅射刻蚀，化学反应刻蚀和离子辅助刻蚀三类，由于你用的氩气为惰性气体，难以与其他材料发生反应，因此主要是一种物理溅射刻蚀，高能离子或者原子与样品表面碰撞 ...

想问层主，如果做si纳米线，刻蚀是否用掩膜，还是发射离子的直接可以发射离子阵列，直接刻蚀？

赞一下