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rania1234

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3428.3
帖子: 62
在线: 96.5小时
虫号: 1873085
注册: 2012-06-29
专业: 半导体材料

[求助] SEM与FE-SEM

请问SEM和FE-SEM的应用分析等有何区别？因为在实验结果分析的时候，使用SEM的比较多，而也有FE-SEM的，对实验分析有什么样的影响？

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Justgoahead!

1楼 2013-05-28 14:33:49

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nihao000

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 6 (幼儿园)
贵宾: 0.003
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在线: 249.6小时
虫号: 560158
注册: 2008-05-18
专业: 无机非金属材料

【答案】应助回帖

扫描电镜有坞丝灯还有场发射。

前者极限是10万背，一般只用到一两万倍图像就不清楚了。并且分辨率一般不小于3个nm。
场发射轻轻松松到达几十万倍。验收场发射的时候是一百万倍验收。分辨率1个纳米。
场发射还分冷场发射，和热场发射。冷场发射的分辨率非常高。但是束流非常的小。
热场发射分辨率稍微次之，但是束流大，EBSD基本装在热场发射上。因为冷场束流小，提供i的束流不够大，EBSD不容易应用。