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关于薄膜电学性能测试的问题
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| 投了一篇SCI 内容是关于AlN薄膜的 在电学性能讨论里面 讨论了电阻率与介电常数随工艺参数变化的规律 现在审稿人要求讨论下漏电流、击穿场强、电容以及缺陷密度随工艺参数变化的规律 请问这四个参数分别用什么设备去测啊 本人研二 做的又主要是结构方面的东西 电学性能方面懂得很少 还请多指教啊 急急急！ |
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aldrichers
金虫 (正式写手)
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2楼2013-05-31 07:22:44