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麻瓜儿

新虫 (初入文坛)

[求助] 扫描电镜喷金

我们学校扫描电镜的喷金设备是离子溅射仪,有三个参数可调,真空度,电流,溅射时间。。。现在做发泡塑料,真空度在4~6MPa,电流在8~10mA,溅射时间是60s,但是发泡塑料经常变形,我不知道什么原因??需要调整什么参数?哪位高手帮忙指点一下啊!!急!!
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努力做好每一件事
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
电流调到20左右,时间不变或者到90。你的真空度错了吧?4-6Mpa,大气压的几十倍了。
喷太多金属也不好,会影响表面外貌,建议你观察到时候倍数不要过高,1000倍以内应该不会有太大影响,加速电压调整到5KV以下。
精益求精,不断进取
2楼2013-05-21 14:16:02
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