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扫描电镜分辨率困扰，同志们指教指教吧
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最近用FEI Quanta 200F SEM做电镜分析， 学校仪器介绍的其加速电压：0.2 to 30 kV，分辨率：1.2nm 但是我做实验的时候用的是20kv加速电压， 问题来了， 请问这个分辨率1.2nm是指任何加速电压下的分辨率都是1.2nm吗？还是说这个分辨率随加速电压变化而变化？如果是这样，那么20kv条件下的分辨率是多少呢？ 还有，为什么我在网上查到的FEI Quanta 200F SEM分辨率是2nm 也有写1.5nm的，而我们学校的写的是1.2nm呢？这里面有什么问题吗？ 不知道我表述清楚了没有 |
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2楼2013-08-29 18:51:03
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【答案】应助回帖
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yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 按你的意思是20kv条件下的分辨率没有1.2nm？那么20kv时的分辨率是多少呢？怎么去确定？我一般最高看到5000倍，喷金了，也做能谱了，貌似看到的还是我的样品，感觉好像没有你说的喷涂的颗粒物 2013-08-30 09:18:36
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-08-30 16:30:39
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-08-30 16:30:39
| 加速电压越大电子束的能量越高对应的电磁波波长就短，分辨率就高。1.2nm应该指的是最高的分辨率。要使用这么高的分辨率需要很高的放大倍数，倍数很高的时候对焦什么的难度很大，另外样品表面一般要喷金或铂之类的，这么高倍数下看的都是金和铂的颗粒，个人觉得对于一般研究这个也没太大用处，5kv足矣。 |
3楼2013-08-29 21:20:32
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【答案】应助回帖
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yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 感觉这个方法有点没谱了 2013-08-30 17:21:54
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| http://www.dental.umaryland.edu/ ... ents/quantainfo.pdf，貌似30kv下分辨率只有3nm，20kv的折算一下乘以根号下1.5，大约4nm，注意这个估算相当不准，慎用。 |
8楼2013-08-30 13:46:43
9楼2013-08-30 17:19:51
