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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 扫描电镜分辨率困扰，同志们指教指教吧
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yrgswpu

铁虫 (小有名气)

[求助] 扫描电镜分辨率困扰，同志们指教指教吧

最近用FEI Quanta 200F SEM做电镜分析，
学校仪器介绍的其加速电压：0.2 to 30 kV，分辨率：1.2nm
但是我做实验的时候用的是20kv加速电压，
问题来了，
请问这个分辨率1.2nm是指任何加速电压下的分辨率都是1.2nm吗？还是说这个分辨率随加速电压变化而变化？如果是这样，那么20kv条件下的分辨率是多少呢？

还有，为什么我在网上查到的FEI Quanta 200F SEM分辨率是2nm 也有写1.5nm的，而我们学校的写的是1.2nm呢？这里面有什么问题吗？
不知道我表述清楚了没有
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FOR ZL
1楼 2013-08-29 16:53:52
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jingxulian

木虫 (著名写手)

村长

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 我知道，主要是现在有篇文章审稿意见问分辨率多少，不确定这个怎么说 2013-08-30 09:15:28
yrgswpu: 金币+2 2013-09-25 23:11:50
这个应该是可调的？看放大多少倍了吧。文章上一般指显示放大倍数和标尺。
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开心
2楼2013-08-29 18:51:03
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 按你的意思是20kv条件下的分辨率没有1.2nm？那么20kv时的分辨率是多少呢？怎么去确定？我一般最高看到5000倍，喷金了，也做能谱了，貌似看到的还是我的样品，感觉好像没有你说的喷涂的颗粒物 2013-08-30 09:18:36
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-08-30 16:30:39
加速电压越大电子束的能量越高对应的电磁波波长就短，分辨率就高。1.2nm应该指的是最高的分辨率。要使用这么高的分辨率需要很高的放大倍数，倍数很高的时候对焦什么的难度很大，另外样品表面一般要喷金或铂之类的，这么高倍数下看的都是金和铂的颗粒，个人觉得对于一般研究这个也没太大用处，5kv足矣。
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3楼2013-08-29 21:20:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 关键是编辑问我分辨率是多少，另外也需要做能谱，而且发现能谱这东西貌似分析结果不是很稳定啊， 2013-08-30 09:21:08
这个理论值没啥意义的。。也没必要深究到底是1.2还是1.5，不看能谱啥的不建议你用这么高的电压，看到的不是表面形貌信息了都，电子打的太深了，光追求分辨率根本没啥意义。。。看你到底要看多大的，选测试方法，理论值只是仪器商号称的而已
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4楼2013-08-29 22:37:23
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xia2436

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2013-08-29 21:20:32
加速电压越大电子束的能量越高对应的电磁波波长就短，分辨率就高。1.2nm应该指的是最高的分辨率。要使用这么高的分辨率需要很高的放大倍数，倍数很高的时候对焦什么的难度很大，另外样品表面一般要喷金或铂之类的， ...

楼上正解
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5楼2013-08-30 08:36:22
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yrgswpu

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xia2436 at 2013-08-30 08:36:22
楼上正解...

按你们的意思就是这个20kv下分辨率没有这么高了撒？那怎么确定20kv下的分辨率是多少呢？这个是目前我最急切想知道的哦，主要是现在有编辑问我这个问题。另外。我的照片是5000倍的


ps：在此特别感谢以上各位虫友的指导！！！
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FOR ZL
6楼2013-08-30 09:24:51
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yrgswpu at 2013-08-30 09:24:51
按你们的意思就是这个20kv下分辨率没有这么高了撒？那怎么确定20kv下的分辨率是多少呢？这个是目前我最急切想知道的哦，主要是现在有编辑问我这个问题。另外。我的照片是5000倍的


ps：在此特别感谢以上各位虫 ...

不行去发个邮件问厂商吧，他们有理论数据，主要是他们给的官方数据可能只有15Kv的和30kV的一般，另外说倍数没有意义的。。因为各个厂商对倍数的定义都不同，差得很多的
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7楼2013-08-30 10:56:55
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
yrgswpu: 金币+2, ★★★很有帮助, 感觉这个方法有点没谱了 2013-08-30 17:21:54
http://www.dental.umaryland.edu/ ... ents/quantainfo.pdf，貌似30kv下分辨率只有3nm，20kv的折算一下乘以根号下1.5，大约4nm，注意这个估算相当不准，慎用。
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8楼2013-08-30 13:46:43
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yrgswpu

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-30 10:56:55
不行去发个邮件问厂商吧，他们有理论数据，主要是他们给的官方数据可能只有15Kv的和30kV的一般，另外说倍数没有意义的。。因为各个厂商对倍数的定义都不同，差得很多的...

查了一些英文网站也是一般只给出15kv或者30kv的分辨率，同一个型号分辨率也是有好几种说法，像什么1.0nm，1.2nm，1.5nm，3nm等等，太搞不明白了
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FOR ZL
9楼2013-08-30 17:19:51
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