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scream

银虫 (小有名气)

[求助] 请教 Al2O3 晶格常数。拜托拜托~~

大家好!
       想请教一下大家,我用ALD(原子层沉积)在Si基底上制得10nm厚的Al2O3薄膜,实验温度100-200℃。它的晶格常数是多少呢?有谁知道,能否告诉一下,不胜感激!
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笃学明志

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
scream: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-20 15:35:02
_publ_author_name                  'Finger, L.W.;Hazen, R.M.'
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一日红黑,终生红黑!
2楼2013-05-20 12:27:29
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笃学明志

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by scream at 2013-05-20 15:34:49
请问一下,这两种结构哪一种更稳定?我该用哪一种呢?...

Al₂O₃有多种变体,常见的是α,γ形都是白色晶体  第一个是α形
自然界中的刚玉是α形属于六方最密堆积,熔点,硬度高,不溶于酸碱耐腐蚀,绝缘性好
将氢氧化铝与偏氢氧化铝或铝铵矾在723K共热可得γ形,不溶于水,但吸水性很强,有强吸附能力与催化活性
β形有离子传导能力,允许Na+通过

氧化铝是将铝矾土原料经过化学处理,除去硅、铁、钛等的氧化物而制得,是纯度很高的氧化铝原料,Al₂O₃含量一般在99%以上。矿相是由40%~76%的γ- Al₂O₃和24%~60%的α- Al₂O₃组成。γ- Al₂O₃于950~1200℃可转变为α- Al₂O₃(刚玉),同时发生显著的体积收缩。

你实验温度100-200℃。。。
最好做下表征
一日红黑,终生红黑!
4楼2013-05-20 16:34:21
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wyw423

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
scream: 金币+3, 恩。本来想做氧化铪的,后来没办法做了 氧化铝。多谢你的指导~~ 2013-05-23 21:04:11
绝缘性比较好。用来充当电容器的绝缘层,是不是比较关注介电常数、击穿电压这些数值啊。如果是的话,ald氧化铪的这些参数更好
9楼2013-05-23 14:02:11
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普通回帖

scream

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 笃学明志 at 2013-05-20 12:27:29
_publ_author_name                  'Finger, L.W.;Hazen, R.M.'
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请问一下,这两种结构哪一种更稳定?我该用哪一种呢?
3楼2013-05-20 15:34:49
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zbdfwq5777

木虫之王 (文学泰斗)

至尊山羊

文献杰出贡献

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
scream: 金币+2 2013-05-22 22:00:29
引用回帖:
3楼: Originally posted by scream at 2013-05-20 15:34:49
请问一下,这两种结构哪一种更稳定?我该用哪一种呢?...

这两者实质上是同一个结构的,只是选用了不同类型晶胞。上面的是六方晶胞,下面的是三方晶胞。它本身属于三方结构,但是为了处理问题方便,也可以选择六方晶胞。
5楼2013-05-20 16:37:24
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wyw423

银虫 (正式写手)

可是ald
做的氧化铝是非晶的啊,αβγ都不是啊
6楼2013-05-21 18:02:28
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scream

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wyw423 at 2013-05-21 18:02:28
可是ald
做的氧化铝是非晶的啊,αβγ都不是啊

好像是非晶的,XRD没有明显的衍射峰。请问一下,这种非晶的氧化铝绝缘性好吗?能否用来充当电容器中的绝缘层?
7楼2013-05-22 22:00:03
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scream

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 笃学明志 at 2013-05-20 16:34:21
Al₂O₃有多种变体,常见的是α,γ形都是白色晶体  第一个是α形
自然界中的刚玉是α形属于六方最密堆积,熔点,硬度高,不溶于酸碱耐腐蚀,绝缘性好
将氢氧化铝与偏氢氧化铝或铝铵矾在723K共热可得γ ...

多谢多谢。我做出来的XRD没有明显的衍射峰,可能是非晶的结构。请问,非晶的氧化铝绝缘性能好吗?能否用来充当电容器中的绝缘层?
8楼2013-05-22 22:02:01
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scream

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wyw423 at 2013-05-21 18:02:28
可是ald
做的氧化铝是非晶的啊,αβγ都不是啊

请问一下,退火以后有没有可能使ALD制成的AL2O3结晶呢?如果可以退火条件要什么样的呢?拜托拜托!
10楼2013-06-02 20:26:33
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