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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 请教 Al2O3 晶格常数。拜托拜托~~
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scream

银虫 (小有名气)

[求助] 请教 Al2O3 晶格常数。拜托拜托~~

大家好！
       想请教一下大家，我用ALD（原子层沉积）在Si基底上制得10nm厚的Al2O3薄膜，实验温度100-200℃。它的晶格常数是多少呢？有谁知道，能否告诉一下，不胜感激！
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1楼 2013-05-20 11:12:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

笃学明志

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
scream: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-20 15:35:02
_publ_author_name                  'Finger, L.W.;Hazen, R.M.'
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一日红黑，终生红黑！
2楼2013-05-20 12:27:29
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笃学明志

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by scream at 2013-05-20 15:34:49
请问一下，这两种结构哪一种更稳定？我该用哪一种呢？...

Al₂O₃有多种变体，常见的是α，γ形都是白色晶体  第一个是α形
自然界中的刚玉是α形属于六方最密堆积，熔点，硬度高，不溶于酸碱耐腐蚀，绝缘性好
将氢氧化铝与偏氢氧化铝或铝铵矾在723K共热可得γ形，不溶于水，但吸水性很强，有强吸附能力与催化活性
β形有离子传导能力，允许Na+通过

氧化铝是将铝矾土原料经过化学处理，除去硅、铁、钛等的氧化物而制得，是纯度很高的氧化铝原料，Al₂O₃含量一般在99%以上。矿相是由40%～76%的γ- Al₂O₃和24%～60%的α- Al₂O₃组成。γ- Al₂O₃于950～1200℃可转变为α- Al₂O₃（刚玉），同时发生显著的体积收缩。

你实验温度100-200℃。。。
最好做下表征
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一日红黑，终生红黑！
4楼2013-05-20 16:34:21
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wyw423

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
scream: 金币+3, 恩。本来想做氧化铪的，后来没办法做了 氧化铝。多谢你的指导~~ 2013-05-23 21:04:11
绝缘性比较好。用来充当电容器的绝缘层，是不是比较关注介电常数、击穿电压这些数值啊。如果是的话，ald氧化铪的这些参数更好
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9楼2013-05-23 14:02:11
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普通回帖

scream

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 笃学明志 at 2013-05-20 12:27:29
_publ_author_name                  'Finger, L.W.;Hazen, R.M.'
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请问一下，这两种结构哪一种更稳定？我该用哪一种呢？
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3楼2013-05-20 15:34:49
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zbdfwq5777

木虫之王 (文学泰斗)

至尊山羊

文献杰出贡献

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
scream: 金币+2 2013-05-22 22:00:29
引用回帖:
3楼: Originally posted by scream at 2013-05-20 15:34:49
请问一下，这两种结构哪一种更稳定？我该用哪一种呢？...

这两者实质上是同一个结构的，只是选用了不同类型晶胞。上面的是六方晶胞，下面的是三方晶胞。它本身属于三方结构，但是为了处理问题方便，也可以选择六方晶胞。
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5楼2013-05-20 16:37:24
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wyw423

银虫 (正式写手)
可是ald
做的氧化铝是非晶的啊，αβγ都不是啊
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6楼2013-05-21 18:02:28
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scream

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wyw423 at 2013-05-21 18:02:28
可是ald
做的氧化铝是非晶的啊，αβγ都不是啊

好像是非晶的，XRD没有明显的衍射峰。请问一下，这种非晶的氧化铝绝缘性好吗？能否用来充当电容器中的绝缘层？
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7楼2013-05-22 22:00:03
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scream

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 笃学明志 at 2013-05-20 16:34:21
Al₂O₃有多种变体，常见的是α，γ形都是白色晶体  第一个是α形
自然界中的刚玉是α形属于六方最密堆积，熔点，硬度高，不溶于酸碱耐腐蚀，绝缘性好
将氢氧化铝与偏氢氧化铝或铝铵矾在723K共热可得γ ...

多谢多谢。我做出来的XRD没有明显的衍射峰，可能是非晶的结构。请问，非晶的氧化铝绝缘性能好吗？能否用来充当电容器中的绝缘层？
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8楼2013-05-22 22:02:01
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scream

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wyw423 at 2013-05-21 18:02:28
可是ald
做的氧化铝是非晶的啊，αβγ都不是啊

请问一下，退火以后有没有可能使ALD制成的AL2O3结晶呢？如果可以退火条件要什么样的呢？拜托拜托！
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10楼2013-06-02 20:26:33
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