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请教 Al2O3 晶格常数。拜托拜托~~
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大家好！ 想请教一下大家，我用ALD（原子层沉积）在Si基底上制得10nm厚的Al2O3薄膜，实验温度100-200℃。它的晶格常数是多少呢？有谁知道，能否告诉一下，不胜感激！  |
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 掺杂计算 |
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笃学明志
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【答案】应助回帖
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scream: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-20 15:35:02
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_publ_author_name 'Finger, L.W.;Hazen, R.M.' _cell_length_a 4.7607(9) _cell_length_b 4.7607(9) _cell_length_c 12.9947(17) _cell_angle_alpha 90. _cell_angle_beta 90. _cell_angle_gamma 120. _cell_volume 255.06 _cell_formula_units_Z 6 _symmetry_space_group_name_H-M 'R -3 c H' _symmetry_Int_Tables_number 167 _refine_ls_R_factor_all .03 loop_ _symmetry_equiv_pos_site_id cell_length_a 5.12(1) _cell_length_b 5.12(1) _cell_length_c 5.12(1) _cell_angle_alpha 55.28 _cell_angle_beta 55.28 _cell_angle_gamma 55.28 _cell_volume 84.5 _cell_formula_units_Z 2 _symmetry_space_group_name_H-M 'R -3 c R' _symmetry_Int_Tables_number 167 |
2楼2013-05-20 12:27:29
笃学明志
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Al₂O₃有多种变体，常见的是α，γ形都是白色晶体 第一个是α形 自然界中的刚玉是α形属于六方最密堆积，熔点，硬度高，不溶于酸碱耐腐蚀，绝缘性好 将氢氧化铝与偏氢氧化铝或铝铵矾在723K共热可得γ形，不溶于水，但吸水性很强，有强吸附能力与催化活性 β形有离子传导能力，允许Na+通过 氧化铝是将铝矾土原料经过化学处理，除去硅、铁、钛等的氧化物而制得，是纯度很高的氧化铝原料，Al₂O₃含量一般在99%以上。矿相是由40%～76%的γ- Al₂O₃和24%～60%的α- Al₂O₃组成。γ- Al₂O₃于950～1200℃可转变为α- Al₂O₃（刚玉），同时发生显著的体积收缩。 你实验温度100-200℃。。。 最好做下表征 |
4楼2013-05-20 16:34:21
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