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zhte-8936金虫 (正式写手)
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求助！合成材料时CVD对真空系统的要求 用过CVD的大神来
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| 因为实验室要买套CVD，现在不确定应该选用低真空设备还是高真空设备，二者价钱上差了七八万。低真空设备实际只能抽到2到5Pa，高真空设备能抽到0.001到0.01Pa。因为反应要在1000度气氛（氨气氢气之类的）下进行，痕量氧气对材料影响会很大，因此想知道低真空设备能否满足要求。谢谢大家！ |
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 wulishi8在碳材料和其他专业问题的回复 |
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2楼2013-05-14 20:03:12
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